一氟甲烷 ， 别 名：甲基氟 ， 为无色易燃气体， 分子量： 34.0 ，沸 点： -78.2℃ ，熔 点： -142℃， 溶解性： 易溶于醇、醚 ，密 度： 相对密度(水=1)0.88(-78℃)相对密度(空气=1)1.20。
一氟甲烷在半导体工业中可作为氮化膜的刻蚀气体，高纯一氟甲烷是一种绿色、高效的电子特气，用于半导体及电子产品的刻蚀，对硅化物薄膜的刻蚀选择性好，在射频场下一氟甲烷会溶解氟离子，进行反应性离子蚀刻。
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