专利名称：一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具专利类型：实用新型专利发明人：李升贵
申请号：CN201820425812.4申请日：20180328公开号：CN208104515U公开日：20181116
摘要：本实用新型公开了一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，包括第一芯轴、第二芯轴和背管锁紧装置，第一芯轴的内端部活动插接于第二芯轴的内端部，以实现调节第一芯轴和第二芯轴的总长度；第一芯轴的内端部或第二芯轴的内端部设置有芯轴锁紧装置，用于将第一芯轴锁紧于第二芯轴；第一芯轴的外端部和第二芯轴的外端部分别安装有一背管锁紧装置，其中的芯轴具有伸缩结构，能够适用于不同长度的基材背管，结构简单且冷却效果好。
申请人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司
地址：523000 广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
国籍：CN
代理机构：北京天盾知识产权代理有限公司
代理人：林晓宏
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