一种基于光谱干涉装置的测量系统[发明专利]

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专利名称：一种基于光谱干涉装置的测量系统专利类型：发明专利发明人：不公告发明人申请号：CN201710259114.1申请日：20170419公开号：CN107121077A公开日：20170901

摘要：本发明涉及一种基于光谱干涉装置的测量系统，主要解决现有技术中存在的测量精度不足的技术问题，本发明通过采用所述测量系统包括光源，与光源依次连接的扩束准直透镜、起偏器、检偏器、自聚焦透镜、光谱仪及数据处理单元；待测双折射晶体连接于所述起偏器与检偏器之间；所述起偏器用于将经扩束准直透镜输出的平行光起偏为线偏振光；所述起偏器(的偏振轴与待测双折射晶体的任意偏振轴有夹角θ；检偏器与待测双折射晶体的任意偏振轴夹角为45度的技术方案，较好的解决了该问题，可用于双折射晶体厚度测量。

申请人：张家港市欧微自动化研发有限公司

地址：215634 江苏省苏州市张家港市杨舍镇塘市新泾中路10-1号5室

国籍：CN

代理机构：苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司

代理人：胡思棉

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