专利名称：晶圆表面膜层金属含量的检测方法专利类型：发明专利发明人：王沿方,王金成,孙威申请号：CN201910383329.3申请日：20190509公开号：CN111916364A公开日：20201110
摘要：本申请涉及一种晶圆表面膜层金属含量的检测方法，包括：提供表面形成有待测膜层的晶圆，配置腐蚀液，使腐蚀液与待测膜层充分反应并生成待测试剂；收集待测试剂并测量待测试剂中的金属含量，计算膜层中的金属含量。上述检测方法，先对待测膜层进行刻蚀，使金属离子全部溶于待测试剂，然后对待测试剂中的金属离子进行检测，并根据检测结果计算待测膜层的金属含量，因此，在本申请中，只需利用常规仪器测量待测试剂中的金属含量，容易实现，且得到的结果为整个待测膜层中的金属含量，可实现对整个膜层的金属含量进行评估。
申请人：无锡华润上华科技有限公司
地址：214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
国籍：CN
代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司
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