(12)发明专利申请
(21)申请号 CN95119967.6 (22)申请日 1995.09.29
(71)申请人 联邦科学及工业研究组织
地址 澳大利亚澳大利亚首都直辖区
(10)申请公布号 CN1135040A (43)申请公布日 1996.11.06
(72)发明人 A·L·阿德里安森;R·N·卡芬;D·W·克罗;D·E·特维;J·迪尔;G·J·希格森 (74)专利代理机构 中国专利代理()有限公司
代理人 王岳
(51)Int.CI
G01N21/00;
权利要求说明书 说明书 幅图
()发明名称
用于测量一个物体的两个可视特征的系统和方法
(57)摘要
本发明公开了用于测定物体至少两个不同
可视特征的方法和装置。该方法包括(I)测定物体的第一参数,这是通过:将物体定位;光照射在物体上,该光包含与物体无表面起伏特征相关的信息;产生是第一参数函数的信号及由该信号测定第一参数,(II)测定物体的第二参数,这是通过将物体定位;先照射该物体,该光包含与物体表面起伏特征相关的信息;检测产生是第二参数
函数的信号;及由该信号测定第二参数。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
1996-11-06 公开
1997-11-12 实质审查请求的生效 2002-04-17
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
公开
实质审查请求的生效 发明专利申请公布后的视为撤回
权利要求说明书
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说明书
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