一种用于板式Pecvd载板的搭载机构[实用新型专利]

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专利名称：一种用于板式Pecvd载板的搭载机构专利类型：实用新型专利发明人：杨林海,童锐,张忠卫申请号：CN201921716508.6申请日：20191014公开号：CN211367718U公开日：20200828

摘要：本实用新型公开了一种用于板式Pecvd载板的搭载机构，包括边框本体，在边框本体任一组对边的内侧对称的设置了挂钩，所述的挂钩采用嵌入的方式可拆卸的插入边框本体的内侧边框中，在所述边框本体内侧边框中设有与所述挂钩相配合的T型凹槽。本实用新型所设置的挂钩采用可分离的方式连接在石墨载板的边框本体上，当氮化硅膜挂钩点印较严重时，可单独拆卸挂钩清洗，不必清洗整个石墨载板，减少清洗难度。

申请人：南通苏民新能源科技有限公司

地址：226300 江苏省南通市通州湾江海联动开发示范区扶海路99号

国籍：CN

代理机构：南京纵横知识产权代理有限公司

代理人：董建林

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