专利名称:用于缺陷检测的方法和装置专利类型:发明专利发明人:D-C·博代亚,P·昂普申请号:CN200980139186.6申请日:20090902公开号:CN102187211A公开日:20110914
摘要:一种用来检测薄膜制品(20)当中的缺陷的系统,包括:连接至电源(14)的发射极探测器(10),所述探测器(10)能够插入到所述制品(20)的腔体当中;传感器(15),该传感器(15)用来接收来自所述探测器(10)的放电;输送机系统,该输送机系统用于使得所述探测器和传感器互相接近;处理器,该处理器用来测量所述探测器和传感器之间的电位差,所述处理器能够基于所述测量而检测缺陷。
申请人:TGT企业有限公司
地址:中国香港
国籍:CN
代理机构:北京戈程知识产权代理有限公司
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