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一种直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置[实用新型专利]

来源:飒榕旅游知识分享网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置专利类型:实用新型专利发明人:栗宁

申请号:CN201620267353.2申请日:20160401公开号:CN205821512U公开日:20161221

摘要:本实用新型公开的一种直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置,包括升降机构以及水冷管,升降机构用于驱动水冷管进入单晶炉内。本实用新型的直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置解决了现有的单晶炉停炉冷却时间过长的问题。本实用新型的直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置在停炉时,通过升降机构将两根水冷管同步伸入单晶炉热场中,将热场底部保温抬起,通过循环冷却水带走热场中热量,达到降低炉内温度的目的,其结构简单,避免因改造单晶炉产生的高额费用,利用单晶炉炉底预留电极孔即可安装,冷却效果显著,可将拆炉时间缩短一半。

申请人:银川隆基硅材料有限公司

地址:750021 宁夏回族自治区银川市(国家级)经济技术开发区开元东路15号

国籍:CN

代理机构:西安弘理专利事务所

代理人:罗笛

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