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一种用于测量大功率激光焦点位置的系统及测量方法[发明专利]

来源:飒榕旅游知识分享网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种用于测量大功率激光焦点位置的系统及测量方

专利类型:发明专利

发明人:王馨梅,郑泽彬,范樱宝,赖明玮,魏锦禹,吴慎将,刘旭

阳,高田芝

申请号:CN201910385191.0申请日:20190509公开号:CN1102387A公开日:20190917

摘要:本发明公开了一种用于测量大功率激光焦点位置的系统,包括依次连接的人机交互界面、微控制器、步进电机驱动器,步进电机驱动器分别连接电动升降台和位于电动升降台上的电动旋转台,电动旋转台上连接金属靶材,金属靶材上设置光电传感器,还包括沿电动升降台移动方向设置的光栅尺位移传感器,光栅尺位移传感器、光电传感器均连接微控制器,微控制器内置能够采集电信号的ADC模块。该系统结构简单,成本低,自动化程度高,焦点位置测量准确。本发明的还公开了一种大功率激光焦点的测量方法,能够精确地测量大功率激光的焦点位置,避免了人为操作导致测量精度低的问题。

申请人:西安理工大学

地址:710048 陕西省西安市碑林区金花南路5号

国籍:CN

代理机构:西安弘理专利事务所

代理人:韩玙

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