洁净室尘埃粒子测试记录

洁净室尘埃粒子测试记录

洁净 级别 10000级 粒子 尺寸 ≥0.5μm ≥5μm ≥0.5μm ≥5μm ≥0.5μm ≥5μm ≥0.5μm ≥5μm ≥0.5μm ≥5μm ≥0.5μm 备注 ≥5μm 测试 标准 GB/T 16292-2010 采样点1 采样值C1-1 采样值C1-2 采样值C1-3 平均值A1 采样值C2-1 测试 状态 静态 测试仪器 采样点2 采样值C2-1 采样平均值A2 值C2-3 M UCL Lasair III 测试时间 静态最大允许数个/m3 350000 2000 350000 2000 350000 2000 350000 2000 350000 2000 3500000 20000 房间名称 结论 □符合□不符合 □符合□不符合 □符合□不符合 □符合□不符合 □符合□不符合 □符合□不符合 □符合□不符合 □符合□不符合 □符合□不符合 □符合□不符合 □符合□不符合 □符合□不符合 注：Ai＝（Ci-1＋Ci-2+ Ci-3）/3 Ai：采样点的平均粒子浓度（粒/M3）；Ci-n：采样点单次的粒子浓度（粒/M3）；n：采样点的采样次数（3次）；i:采样点 置信上限：UCL＝M＋t×SE 洁净室平均粒子浓度（粒/M3）：M＝（A1＋A2）/2；洁净室总采样点数：L；95％置信上限的t分布系数：t＝6.31（L＝2）； 标准误差：SE2＝〔（A1－M）2＋（A2－M）2〕/2（2－1）

检验人： 复核人：