有机薄膜制造装置、有机薄膜制造方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：有机薄膜制造装置、有机薄膜制造方法专利类型：发明专利发明人：木村孔

申请号：CN201780029675.0申请日：20170428公开号：CN109072415A公开日：20181221

摘要：提供一种能够稳定地放出蒸气的有机薄膜制造装置。是向蒸发容器（33）供给热而将有机材料（37）加热、使蒸气放出的有机薄膜制造装置（10），根据在成膜对象物（15）上形成的有机薄膜的成长速度求出表示有机材料（37）的温度的计算温度，将蒸发容器（33）的测量温度与计算温度比较，对应于温度偏差，使向蒸发容器（33）供给的热的供给速度变化。由于热的变动较小，所以蒸气放出稳定。如果测量成长速度接近目标的成长速度，则使热量的变化变小，所以蒸气放出稳定。

申请人：株式会社爱发科

地址：日本神奈川县

国籍：JP

代理机构：中国专利代理()有限公司

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