气体纯化设备和气体纯化方法

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（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201480011539.5 （22）申请日 2014.02.26 （71）申请人三菱重工业株式会社

地址日本东京

（10）申请公布号 CN105026524B

（43）申请公布日 2017.08.11

（72）发明人加藤雄大;中村健太郎

（74）专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司

代理人王旭

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

气体纯化设备和气体纯化方法

（57）摘要

本发明意在提供具有出色热效率并能

够以高分解速度分解COS的气体纯化设备和气体纯化方法。配置为纯化至少包含COS、H 法律状态

法律状态公告日

2015-11-04 2015-11-04 2015-11-04 2015-12-02 2015-12-02 2015-12-02 2017-08-11

公开公开公开

实质审查的生效实质审查的生效实质审查的生效授权

法律状态信息

公开公开公开

法律状态

实质审查的生效实质审查的生效实质审查的生效授权

法律状态公告日

2017-08-11 2018-08-07

授权

法律状态信息

授权

专利申请权、专利权的转移

法律状态

专利申请权、专利权的转移

权利要求说明书

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说明书

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