石墨烯透明导电薄膜的制备方法[发明专利]

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专利名称：石墨烯透明导电薄膜的制备方法专利类型：发明专利发明人：来霸,王奇,于化丛申请号：CN201510227685.8申请日：20150506公开号：CN104779015A公开日：20150715

摘要：本发明公开了一种石墨烯透明导电薄膜的制备方法，包括以下步骤：①在大面积玻璃基底上采用磁控溅射法沉积大约一到两层镍原子厚的镍薄膜层；②在镍薄膜层上，采用化学气相沉积法沉积石墨烯薄膜层；③经过降温工艺处理后，镍原子穿过石墨烯薄膜层析出，并附着在石墨烯薄膜层的表面；④通过弱酸型清洗工艺将石墨烯薄膜层表面的镍层去除，然后进行干燥，得到透明导电膜。本发明突破了原有技术的，实现了把石墨烯透明导电薄膜在实验室内的小尺寸到工业化应用的大尺寸应用的跨越；在大面积应用上，将可以替代目前常规的光伏透明导电膜和触摸屏产业用的氧化铟锡透明导电膜，并可因大面积生产而降低成本。

申请人：南京汉能薄膜太阳能有限公司

地址：210042 江苏省南京市经济开发区疏港路1号龙潭物流基地A-29号

国籍：CN

代理机构：北京中济纬天专利代理有限公司

代理人：徐琳淞

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