专利名称：一种ITO靶材加工用热等静压装置专利类型：实用新型专利发明人：刘洪浩
申请号：CN201821150929.2申请日：20180720公开号：CN208930477U公开日：20190604
摘要：本实用新型公开了一种ITO靶材加工用热等静压装置，包括静压仓，所述静压仓下表面两侧设置有减震底座，所述静压仓两侧设置有真空板，且真空板内表壁设置有加压管，所述静压仓顶部设置有密封盖，所述密封盖下表面设置有压合垫片，所述密封盖上表面两侧边缘处对称设置有支架，且支架顶部焊接有提拉把手和与之配套使用的弹簧压板，所述静压仓内部底板上设置有顶杆，且顶杆顶部设置有加热管，所述加热管顶部设置有挂板，所述挂板下表面设置有限位块，且限位块内表面设置有弹簧挂板，所述静压仓内部设置有冷却管。本实用新型中，该热等静压装置整体结构设计简单合理，实现了快速热压以及散热的效果，操作安全灵活，具有较强的实用性。
申请人：江苏比昂电子材料有限公司
地址：215000 江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88号
国籍：CN
代理机构：苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：冯现伟
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