一种片上集成光学微腔耦合结构及制备方法[发明专利]

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专利名称：一种片上集成光学微腔耦合结构及制备方法专利类型：发明专利发明人：姜校顺,拜子琦申请号：CN202011218523.5申请日：20201104公开号：CN112363278A公开日：20210212

摘要：本发明实施例公开了一种片上集成光学微腔耦合结构及制备方法。耦合结构包括衬底；设置于衬底上的光学微腔、第一悬臂梁和第二悬臂梁；第一悬臂梁包括第一支撑体、第二支撑体以及第一悬臂，第二悬臂梁包括第三支撑体、第四支撑体以及第二悬臂，光学微腔位于第一悬臂和第二悬臂之间；第一悬臂和第二悬臂用于在锥状光纤和光学微腔耦合时支撑锥状光纤的两端。本发明实施例的技术方案，使得锥状光纤与光学微腔相对位置保持稳定，从而解决了实验中的长时间测量所必需的机械稳定性问题，而且该结构的制备工艺与现有光学微腔的制备工艺完全兼容，容易制备，可以为光学微腔未来的产业化提供一个解决机械稳定性的封装思路。

申请人：南京大学

地址：210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号

国籍：CN

代理机构：北京品源专利代理有限公司

代理人：孟金喆

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