TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法[发明专利]

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专利名称：TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法专利类型：发明专利

发明人：李基勋,申兴铉,朴喜载申请号：CN201280018215.5申请日：20120413公开号：CN103460368A公开日：20131218

摘要：本发明涉及一种TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法，本发明的TSV检测用干涉仪在检测TSV时，利用可变视场光阑检测TSV的直径及深度，从而能够缩短检测时间，并且减少结果数据容量，其中可变视场光阑将光线的焦点调节到TSV的入口和底面。而且，本发明利用远心透镜，从而即使在如TSV那样纵横比大的情况下也能确保到达底面的光量，从而提高检测精度，其中远心透镜使向TSV入射的光线实质上成为直线光。

申请人：SNU精度株式会社

地址：韩国首尔市

国籍：KR

代理机构：北京邦信阳专利商标代理有限公司

代理人：王昭林

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