专利名称：衬底的处理方法专利类型：发明专利
发明人：张锡明,姜信铨,黄彦余申请号：CN201711134321.0申请日：20171116公开号：CN109801841A公开日：20190524
摘要：本发明提供一种衬底的处理方法，其使用衬底处理设备处理所述衬底，所述衬底处理设备包括反应腔室以及围绕所述反应腔室的辅助腔室，其中所述衬底的处理方法包括：将所述衬底置于所述反应腔室内；进行提升所述反应腔室及所述辅助腔室内的压力的工艺，以使所述辅助腔室内的压力介于一大气压与所述反应腔室内的压力之间；提高所述反应腔室内的温度；以及使衬底于所述反应腔室内经受所述超临界流体处理。
申请人：中华映管股份有限公司
地址：中国台湾桃园市龙潭区华映路1号
国籍：TW
代理机构：北京同立钧成知识产权代理有限公司
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