在玻璃或金属基片上沉积铜铟镓硒吸收层的设备和方法[发明专利]

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专利名称：在玻璃或金属基片上沉积铜铟镓硒吸收层的设备和

方法

专利类型：发明专利发明人：甘国工

申请号：CN2012102253.4申请日：20120704公开号：CN103526159A公开日：20140122

摘要：本发明在玻璃或金属基片上沉积铜铟镓硒吸收层的设备，包括至少一组铜铟镓磁控溅射沉积系统、硒化系统，设备中至少有一套硒蒸发沉积装置，硒蒸发沉积装置中有贯通微孔和/或微缝对气体具渗透性的空心管状加热器、和与空心管状加热器同轴安装的管状加温保温隔热外罩，单质硒置于空心管状加热器内加热、产生的硒蒸气渗过空心管状加热器、在管状加温保温隔热外罩的约束下。从管状加温保温隔热外罩的条形开口喷出，并向邻近的基片沉积，改变管状加温保温隔热外罩的条形开口的安装方向，可实现硒蒸气的任意方向喷出和沉积。本发明还提供了大面积沉积铜铟镓硒吸收层的连续式生产的方法。本发明克服了多元共蒸法、硒化法固有的缺点。

申请人：甘国工

地址：610100 四川省成都市龙泉驿区经济技术开发区星光中路103号

国籍：CN

代理机构：成都立信专利事务所有限公司

代理人：江晓萍

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