纳米多孔铜薄膜的制备方法[发明专利]

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专利名称：纳米多孔铜薄膜的制备方法专利类型：发明专利

发明人：苏江滨,蒋美萍,王红红申请号：CN20121049.0申请日：20121217公开号：CN103014626A公开日：20130403

摘要：本发明公开了一种纳米多孔铜（NPC）薄膜的制备方法，目的是提供包括一种多孔的三棱柱状结构和一种双连续的“三角韧带–孔道”结构在内的NPC薄膜的磁控溅射制备方法。本发明利用射频平衡磁控溅射镀膜系统，以绝缘载玻片为间接衬底，先在载玻片上沉积一层具有粗糙表面的金属铜薄膜作直接衬底，然后施加衬底负偏压，利用尖端集电原理诱使入射铜原子在直接衬底上进行选择性优先沉积，从而获得各向异性的NPC薄膜。本发明制备的NPC薄膜的形貌取决于直接衬底铜膜的形貌，通过控制衬底的形貌能够可控地制备不同结构的NPC薄膜，具有工艺简单、大面积、均匀性好、各向异性等优点，在太阳能薄膜电池、催化、传感器、生物探测等领域具有潜在应用前景。

申请人：常州大学

地址：2131 江苏省常州市武进区滆湖路1号

国籍：CN

代理机构：南京知识律师事务所

代理人：李媛媛

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