专利名称：衬底处理装置和衬底的制造方法专利类型：发明专利
发明人：横川政弘,川崎隆裕,中岛保,田中芳雄申请号：CN201780082067.6申请日：20171211公开号：CN110168132A公开日：20190823
摘要：衬底处理装置具有：保持衬底(W)并在减压加热处理室内被加热的衬底保持件(H)；使从衬底保持件(H)放射的放射热线(La)向减压加热处理室外透过的透过窗(23)；在减压加热处理室外测量透过了透过窗(23)的放射热线(La)的放射温度计(25)；以及从朝向透过窗(23)开口的气体导入口(24a)向透过窗(23)喷射气体而将气体导入减压加热处理室内的气体导入装置(24)。
申请人：三菱电机株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：严鹏
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容