专利名称：气相沉积炉尾气处理系统专利类型：实用新型专利发明人：董家海
申请号：CN201820171984.3申请日：20180131公开号：CN208065964U公开日：20181109
摘要：本实用新型提供一种气相沉积炉尾气处理系统，包括炉体，所述炉体上设有炉体进气口和炉体出气口，所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口连接，所述第一过滤罐的出气口通过第一真空泵与第二过滤罐的进气口连接，所述第二过滤罐的出气口通过第二真空泵与第三过滤罐连接，所述第一过滤罐、第二过滤罐、第三过滤罐为空罐体结构。该气相沉积炉尾气处理系统中能够有效防止尾气在管道内及真空泵上沉积，可有效延长设备的使用寿命，同时过滤罐采用空的罐体结构，无需添加任何化学试剂，罐体可重复使用，尾气沉积物也能够循环利用，可有效降低生产成本。
申请人：浙江诺华陶瓷有限公司
地址：322100 浙江省金华市东阳市巍山镇六怀工业功能区
国籍：CN
代理机构：苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)
代理人：刘计成
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