投影物镜最佳焦面检测装置及方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：投影物镜最佳焦面检测装置及方法专利类型：发明专利

发明人：陈跃飞,徐兵,蔡巍,贾翔,王端秀申请号：CN201010530560.X申请日：20101103公开号：CN102455247A公开日：20120516

摘要：本发明提出投影物镜最佳焦面检测装置，包括安装在光刻机工件台上的基准版和光电探测装置，光照射在所述光刻机中掩模版上的测量标记阵列上时，所述测量标记阵列通过所述投影物镜在所述基准版上成像，所述光电探测装置探测到所述基准版上的像；使用所述投影物镜最佳焦面检测装置的检测方法，利用最小二乘法得到中轴位置和清晰度的关系曲线，从而根据所述关系曲线的拐点所对应的中轴位置与测量标记阵列的视场的中轴位置的差值，来判断所述投影物镜最佳焦面的位置。投影物镜最佳焦面检测装置及方法，通过移动工件台，而所述投影物镜处于静止状态，就可以完成测量所述投影物镜最佳焦面的目的。

申请人：上海微电子装备有限公司

地址：201203 上海市张东路1525号

国籍：CN

代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

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