成膜厚度的测量装置以及成膜设备[发明专利]

来源：飒榕旅游知识分享网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：成膜厚度的测量装置以及成膜设备专利类型：发明专利发明人：匡友元

申请号：CN201810786259.1申请日：20180717公开号：CN1050511A公开日：20181207

摘要：本发明公开了成膜厚度的测量装置以及成膜设备，所述成膜厚度的测量装置包括座体、保护盖和热源，所述座体上设置有用于测量成膜厚度的晶振片；所述保护盖罩设于所述座体上，所述保护盖上设置有供成膜材料穿过并在所述晶振片上沉积成膜的开口；所述热源用于加热所述晶振片上沉积的薄膜使其被蒸发气化去除。所述成膜厚度的测量装置通过在内设热源来对成膜后的晶振片进行加热，使晶振片上的薄膜被蒸发气化，无需采用拆卸晶振片再去除晶振片上的薄膜等繁琐的维护工序，节约了维护成本，并且有效地提高了成膜效率。

申请人：深圳市华星光电技术有限公司

地址：518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

国籍：CN

代理机构：深圳市铭粤知识产权代理有限公司

代理人：孙伟峰

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文