专利名称：光学薄膜成膜的直接式光学监控系统专利类型：实用新型专利
发明人：长家武彦,范宾,宫健,龙汝磊申请号：CN201120122105.6申请日：20110425公开号：CN202133819U公开日：20120201
摘要：一种光学薄膜成膜的直接式光学监控系统，涉及光学薄膜成膜技术领域，所解决的是保证膜厚控制精度的同时提高产能的技术问题。该系统包括成膜腔体、光源灯泡、光纤、聚光透镜组件和光接收装置，所述成膜腔体内设有一水平转动的工件盘，所述光源灯泡及聚光透镜组件均安装在成膜腔体内，所述光接收装置经光纤及聚光透镜组件光路连接光源灯泡；所述成膜腔体内固设有一透镜支架、一光源支架，所述透镜支架及光源支架的架体均从工件盘中部延伸至工件盘边缘；所述聚光透镜组件固定在透镜固定件上，所述光源灯泡固定在光源固定件上，且聚光透镜组件及光源灯泡的固定位置均可调节。本实用新型提供的系统，为兼顾精度与产能提供了可调节手段。
申请人：光驰科技(上海)有限公司
地址：200436 上海市宝山区城市工业园区城银路267号
国籍：CN
代理机构：上海申汇专利代理有限公司
代理人：林炜
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