第２４卷第１期 强 激 光 与 粒 子 束 Ｖｏ１．２４，ＮＯ．Ｉ ２０１２年１月 ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲ ＬＡＳＥＲ ＡＮＤ ＰＡＲＴＩＣＬＥ ＢＥＡＭＳ Ｊａｎ．，２０１２ 文章编号：１００１—４３２２（２０１２）０１—０１３９—０３ １ ４０ ＧＨｚ菱形微带曲折线慢波 结构行波管的模拟计算 沈 飞， 魏彦玉， 许 雄， 徐 进， 巩华荣， 黄民智， 宫玉彬， 王文祥 （电子科技大学微波电真空器件国家级重点实验室，成都６１００５４） 摘要： 提出了一种新型的菱形微带曲折线慢波结构。该结构可适用于低电压、宽带宽、中等功率水平 的高效率毫米波行波管。和传统的慢波结构相比，微带曲折线是一种平面结构，因此其加工工艺可采用２维微 细加工技术。该结构可以用带状电子束进行注一波互作用，并且不需要额外的电子束通道。给出了菱形微带曲 折线慢波结构在１４０ ＧＨｚ的色散曲线和注一波互作用模拟分析。研究结果显示：在输入功率为４０ ｍＷ，带状电 子束的电流和工作电压分别为９０ ｍＡ和７ ｋＶ的条件下，该微带曲折线行波管可以获得数十ｗ功率输出，互 作用效率可达１４．３ ，瞬时３ ｄＢ带宽为１８ ＧＨｚ（１３２～１５０ ＧＨｚ）。 关键词：菱形微带曲折线；慢波结构；行波管；微细加工 中图分类号：ＴＮ１２５ 文献标志码： Ａ ｄｏｉ：１０．３７８８／ＨＰＬＰＢ２０１２２４０１．０１３９ 随着未来空间技术的飞速发展，相控阵雷达、微波中继通信系统、小型机载干扰设备等微波系统中迫切需 求结构工艺简单、工作电压低、小体积的紧凑型行波管＿１ ］。因此，探索基于微电子机械系统（ＭＥＭｓ）技术＿４ 制 造的、并且可与带状电子注互作用的新型行波管慢波电路，已成为小型化行波管的主要发展方向之一。微带曲 折线慢波结构是一种新型的２维慢波结构，它是由单根微带线在介质平板上按一定空间周期重复排列下去，并 将相邻微带线在传播方向上交替连接而形成的平面慢波电路，有时又被称为平面曲折线。其加工工艺可采用 ２维ＭＥＭＳ技术。目前，国内外对微带曲折线慢波结构的研究主要集中在传统的直角形微带曲折线慢波结 构ｌ＿５。］。为了开发微带曲折线慢波结构在亚毫米波段的应用，我们提出了一种新型的菱形微带曲折线慢波结 构 ］。本文利用电磁仿真软件ＨＦＳＳ对菱形微带曲折线慢波结构的色散特性和耦合阻抗进行了分析，最后利 用ＣＳＴ的粒子工作室对该慢波结构的注一波互作用进行模拟计算。 １ 菱形微带曲折线慢波结构的高频特性 图１为菱形微带曲折线慢波结构（ＳＷＳ）的模型图。该结构由两个Ｖ形微带线慢波结构进行并联连接，即 由菱形微带曲折线、菱形介质支撑杆和金属屏蔽腔构成。其中，ａ是金属屏蔽腔的横截面宽度；ｈ是金属屏蔽 腔的横截面高度；ｈ 是介质支撑杆的厚度。菱形慢波结构的结构参数尺寸如图２所示。其中，６是慢波结构的 Ｆｉｇ．１ Ｍｏｄｅｌ ｏｆ ｒｈｏｍｂｕｓ—ｓｈａｐｅｄ ｍｉｃｒｏｓｔｒｉｐ Ｆｉｇ．２ Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ ｏｆ ｒｈｏｍｂｕｓ—ｓｈａｐｅｄ ｍｅａｎｄｅｒ－ｌｉｎｅ ＳＷＳ ｍｉｃｒｏｓｔｒｉｐ ｍｅａｎｄｅｒ－ｌｉｎｅ ＳＷＳ 图１菱形微带曲折线ＳＷＳ模型图 图２平面结构尺寸图 ＊收稿日期：２０１１－１卜０４； 修订日期：２０１１－１２—０４ 基金项目：国家自然科学基金项目（６０９７１０３８）；国家杰出青年科学基金项目（６１１２５１０３） 作者简介：沈飞（１９８３一），男，博士研究生，主要从事微带曲折线慢波结构的研究；ｒｉｃｋｓｆ＠ｑｑ．ｃｏｒｎ。 通讯作者：魏彦玉（１９７１一），男，教授，博士生导师，主要从事微波电子学、太赫兹电子学的研究；ｙｙｗｅｉ＠ｕｅｓｔｃ．ｅｄｕ．ｃｎ。 １４０ 强 激 光 与 粒 子 束 第２４卷 横向宽度；Ｐ是慢波结构的周期长度； 是相邻微带线之间的夹角；叫是微带线的宽度；Ｓ是相邻两个慢波结构 ｚｌ｛Ｄ／ ０【１０ｊ口９Ｊ 之间距离的一半。 通过电磁仿真软件ＨＦＳＳ，对慢波结构的各尺寸进行了优化，优化后的结构参数为：ｎ一１．３８ ＩＴｌｍ， 一０．３４ ｍｒｎ，ｈｄ—Ｏ．０４ ｉＴｔｍ，６—０．６９ ｍｌｎ， —Ｏ．０９５ ｍｍ， 一８。，叫一０．０２ ｍｍ，ｓｚ０．００１ Ｉｎｍ。基于这些优化了的慢波 结构尺寸参数，计算了该慢波结构的色散特性和耦合阻抗，结果如图３和图４所示。 ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ／ＧＨｚ Ｆｉｇ．３ Ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ ｃｕｒｖｅ ｏｆ ｒｈｏｍｂｕｓ－ｓｈａｐｅｄ ｍｉｃｒｏｓｔｒｉｐ ｍｅａｎｄｅｒｑｉｎｅ ＳＷＳ Ｆｉｇ．４ Ｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎ ｉｍｐｅｄａｎｃｅ ｃｕｒｖｅ ｏｆ ｒｈｏｍｂｕｓ—ｓｈａｐｅｄ ｍｉｃｒｏｓｔｒｉｐ ｍｅａｎｄｅｒ－ｌｉｎｅ ＳＷＳ 图３菱形微带曲折线的色散曲线 图４菱形微带曲折线的耦合阻抗 ２ 菱形微带曲折线行波管的粒子模拟结果 基于以上高频特性模拟所得到的慢波结构各尺寸参数优化值，通过粒子模拟的方法计算了菱形微带曲折 线行波管在１４０ ＧＨｚ频段的性能。整个互作用电路总计有２２５个周期，每个周期的长度为０．０９５ ｍｒｎ。为了 在一定的电气参数下获得尽可能大的增益并抑制返波振荡，用４个衰减器将整个互作用电路分割成５小段。 模拟计算中所采用的是具有较高电导率的金属铜，在考虑了表面粗糙度后，我们将其电导率设置为２．２×１０ ａＭＳ／ｍ＿９ ；介质支撑杆所采用的材料是氮化硼，介电常数为４＿】 。带状电子束的电流和电压分别设置为９Ｏ ｍＡ 和７ ｋＶ，激励信号功率为４０ ｍｗ，聚焦系统采用的是０．７ Ｔ的均匀磁场。图５和图６分别给出了１４３ ＧＨｚ频 率点的输入、输出信号图及输出信号的频谱图。由图５可以看出，输出信号在１．５ ｍｓ时达到稳定，这表明注一波 互作用已经达到稳定状态；从图６可以看出，从０￣３００ ＧＨｚ的频带范围内输出信号的频谱都相当的纯净。图 ７给出了菱形微带曲折线行波管在１３０ ＧＨｚ到１５０ ＧＨｚ的频带范围内的功率输出，从图中可以看到，互作用 的峰值输出功率为９０ ｗ，相对应的增益和电子效率分别为３３．５ ｄＢ和１４．３ ，瞬时３ ｄＢ带宽为１８ ＧＨｚ。 壹 言 趸。 ｌ ｏ ｔｉｍｅ／ｎｓ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ／ＧＨｚ Ｆｉｇ．６ Ｓｐｅｃｔｒｕｍ ｏｆ ｏｕｔｐｕｔ ｓｉｇｎａｌ ｆｅｑｕｅｎｃｙ／ＧＨｚ Ｆｉｇ．７ Ｏｕｔｐｕｔ ｐｏｗｅｒ ｖｅｒｓｕｓ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｆｉｇ．５ Ｉｎｐｕｔ ａｎｄ ｏｕｔｐｕｔ ｓｉｇｎａｌｓ 图５ 输人、输出信号图 图６输出信号频谱图 图７输出信号幅频特性曲线图 ３ 结 论 本研究对菱形微带曲折线慢波结构的高频特性及注一波互作用进行了模拟计算。从计算结果可以看出，菱 形微带曲折线慢波结构是一个有潜力工作于毫米波、亚毫米波段的新型低电压、宽频带、高增益的微带慢波结 构。模拟计算中由于所设计的带状电子束的束流密度较低，因此采用的聚焦磁场也仅为０．７ Ｔ。这比单Ｖ形 微带曲折线慢波结构所采用的聚焦磁场要低得多，因此这一改进也极大地降低了实际应用中聚焦磁场的设计 第１期 沈 飞等：１４０ ＧＨｚ菱形微带曲折线慢波结构行波管的模拟计算 １４１ 难度。 参考文献： ［１］付成芳，魏彦玉，蒋艺．矩形螺旋线行波管注一波互作用３维模拟［Ｊ］．强激光与粒子束，２０１１，２３（５）：１３４１—１３４５．（Ｆｕ Ｃｈｅｎｇｆａｎｇ，Ｗｅｉ Ｙａｎｙｕ， Ｊｉａｎｇ Ｙｉ．３Ｄ ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ｏｆ ｂｅａｍ ｗａｖｅ ｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎ ｏｆ ｒｅｃｔａｎｇｕｌａｒ ｈｅｌｉｘ ｔｒａｖｅｌｉｎｇ—ｗａｖｅ ｔｕｂｅ．Ｈｉｇｈ Ｐｏｗｅｒ Ｌａｓｅｒ ａｎｄ Ｐａｒｔｉｃｌｅ Ｂｅａｍｓ，２０１ １，２３ （５）：ｌ３４１－１３４５） ［２］Ｆｕ Ｃ Ｆ，Ｗｅｉ Ｙ Ｙ，Ｗａｎｇ Ｗ Ｘ，ｅｔ ａ１．Ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｏｆ ａ ｒｅｃｔａｎｇｕｌａｒ ｈｅｌｉｘ ｓｌｏｗ—ｗａｖｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ［Ｊ］．ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ ｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ，２００８，５５（１２）：３５８２—３５８９． ［３］冯进军，蔡军，胡银富，等．折叠波导慢波结构太赫兹真空器件研究［Ｊ］．中国电子科学研究院学报，２００９，４（３）：２４９—２５４．（Ｆｅｎｇ Ｊｉｎｊｕｎ，Ｃａｉ Ｊｕｎ，Ｈｕ Ｙｉｎｆｕ，ｅｔ ａ１．ＴＨｚ ｖａｃｕｕｍ ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ｄｅｖｉｃｅｓ ｕｓｉｎｇ ｆｏｌｄｅｄ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ ｓｌｏｗ ｗａｖｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ．Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｃｈｉｎａ Ａｃａｄｅｍｙ ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ａｎｄ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ。２００９，４（３）：２４９—２５４） ［４］Ｂｏｏｓｋｅ Ｊ Ｈ．Ｎｅｗ ｏｐｐｏｒｔｕｎｉｔｉｅｓ ｉｎ ｖａｃｕｕｍ ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ｔｈｒｏｕｇｈ ｔｈｅ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｏｆ ｍｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ＥＣ］／／Ｐｒｏｃ ＩＥＥＥ Ｉｎｔ Ｖａｃ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｃｏｎｆ．２００２：１１—１２． ［５］张大勇，冯进军，廖复疆，等．微带型曲折线慢波结构冷测特性的计算机仿真［Ｊ］．电子器件，２００６，２９（４）：１２２３—１２２６．（Ｚｈａｎｇ Ｄａｙｏｎｇ，Ｆｅｎｇ Ｊｉｎｊｕｎ，Ｌｉａｏ Ｆｕｊｉａｎｇ，ｅｔ ａ１．Ｃｏｌｄ—ｔｅｓｔ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ｏｆ ｍｉｃｒｏｓｔｒｉｐ ｍｅａｎｄｅｒ－ｌｉｎｅ ｓｌｏｗ ｗａｖｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ．Ｃｈｉｎｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ，２００６，２９（４）：１２２３－１２２６） ［６３ Ｓｅｎｇｅｌｅ Ｓ，Ｊｉａｎｇ Ｈ Ｒ，Ｂｏｏｓｋｅ Ｊ Ｈ，ｅｔ ａ１．ＭｉｃｒｏＩａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ａｎｄ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ ａ ｓｅｌｅｃｔｉｖｅｌｙ ｍｅｔａｌｌｉｚｅｄ Ｗ ｂａｎｄ ｍｅａｎｄｅｒ—ｌｉｎｅ ＴｗＴ ｃｉｒｃｕｉｔ ［Ｊ］．ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ ｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ，２００９，５６（５）：７３０—７３７． Ｉ－７］Ｚｈａｎｇ Ｄ Ｇ，Ｙｕｎｇ Ｅ Ｋ Ｎ，Ｄｉｎｇ Ｈ Ｙ．Ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｏｆ ａ ｎｏｖｅｌ ｓｈｉｅｌｄｅｄ ｐｅｒｉｏｄｉｃ ｍｅａｎｄｅｒ ｌｉｎｅ［Ｊ］．Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ ａｎｄ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｌｅｔｔｅｒｓ，１９９６，１２（１）：１－５． ［８２ Ｓｈｅｎ Ｆ，Ｗｅｉ Ｙ Ｙ，Ｙｉｎ Ｈ Ｒ，ｅｔ ａ１．Ａ ｎｏｖｅｌ Ｖ ｓｈａｐｅｄ ｍｉｃｒｏｓｔｒｉｐ ｍｅａｎｄｅｒ—ｌｉｎｅ ｓｌｏｗ—ｗａｖｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｆｏｒ Ｗ ｂａｎｄ ＭＭＰＭ［－Ｊ］．ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ ｏｎ Ｐｌａｓｍａ Ｓｃｉｅｎｃｅ，２Ｏ１１． ［９］Ｇｏｎｇ Ｙ Ｂ，Ｙｉｎ Ｈ Ｒ，Ｙｕｅ Ｌ Ｎ，ｅｔ ａ１．Ａ １４０ ＧＨｚ ｔｗｏ ｂｅａｍ ｏｖｅｒｍｏｄｅｄ ｆｏｌｄｅｄ－ｗａｖｅｇｕｉｄｅ ｔｒａｖｅｌｉｎｇ ｗａｖｅ ｔｕｂｅ［Ｊ］．ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ ｏｎ Ｐｌａｓｍａ Ｓｃｉｅｎｃｅ，２０ｌ１，３９（３）：８４７－８５ｌ＿ ［１０］Ｚｈａｎｇ Ｃ，Ｓｔｅｖｅｎｓ Ｇ Ｃ．Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ ｂｏｒｏｎ ｎｉｔｒｉｄｅ ｆｉｌｌｅｄ ｅｐｏｘｙ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅｓ［Ｃ］／／Ｐｒｏｃ ＩＥＥＥ Ｃｏｎｆ ｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ Ｉｎｓｕｌａｔｉｏｎ ａｎｄ Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｐｈｅｎｏｍｅｎａ．２００６：１９—２２． Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｓ ｏｆ ｒｈｏｍｂｕｓ—－ｓｈａｐｅｄ ｍｉｃｒｏｓｔｒｉｐ ｍｅａｎｄｅｒ。－ｌｉｎｅ ｓｌｏｗ。。ｗａｖｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｆｏｒ １４０ ＧＨｚ ｔｒａｖｅｌｉｎｇ—ｗａｖｅ ｔｕｂｅ Ｓｈｅｎ Ｆｅｉ，Ｗｅｉ Ｙａｎｙｕ，Ｘｕ Ｘｉｏｎｇ，Ｘｕ Ｊｉｎ， Ｇｏｎｇ Ｈｕａｒｏｎｇ，Ｈｕａｎｇ Ｍｉｎｚｈｉ，Ｇｏｎｇ Ｙｕｂｉｎ， Ｗａｎｇ Ｗｅｎｘｉａｎｇ （Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｋｅｙ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ ｏｆ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ｏｎ Ｖａｃｕｕｍ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ， Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ｏｆ Ｃｈｉｎａ，Ｃｈｅｎｇｄｕ ６１００５４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ： Ａ ｒｈｏｍｂｕｓ—ｓｈａｐｅｄ ｍｉｃｒｏｓｔｒｉｐ ｍｅａｎｄｅｒ－ｌｉｎｅ ｓｌｏｗ—ｗａｖｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｉｓ ｐｒｏｐｏｓｅｄ ｆｏｒ ｕｓｅ ｉｎ ａ ｌｏｗ ｖｏｌｔａｇｅ，ｗｉｄｅ ｂａｎｄ— ｗｉｄｔｈ，ｍｏｄｅｒａｔｅ ｐｏｗｅｒ ａｎｄ ｈｉｇｈ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒ—ｗａｖｅ ｔｒａｖｅｌｉｎｇ—ｗａｖｅ ｔｕｂｅ．Ｔｈｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｉｓ ｅｖｏｌｖｅｄ ｆｒｏｍ ｔｈｅ ｏｒｉｇｉｎａｌ Ｖ— ｓｈａｐｅｄ ｍｉｃｒｏｓｔｒｉｐ ｍｅａｎｄｅｒ－ｌｉｎｅ ｓｌｏｗ－ｗａｖｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ．Ｃｏｍｐａｒｅｄ ｗｉｔｈ ｔｈｅ ｃｏｎｖｅｎｔｉｏｎａｌ ｓｌｏｗ－ｗａｖｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ，ｉｔ ｉｓ ａ ｋｉｎｄ ｏｆ ｐｌａｎａｒ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ，ｗｈｏｓｅ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ｃａｎ ｂｅ ｅａｓｉｌｙ ｒｅａｌｉｚｅｄ ｂｙ ｕｔｉｌｉｚｉｎｇ ｔｈｅ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ｏｆ ２－Ｄ ｍｉｃｒｏ—ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ．Ｗｈａｔ’ｓ ｍｏｒｅ，ｔｈｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｃａｎ ｒｅａｌｉｚｅ ｂｅａｍ—ｗａｖｅ ｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎ ｗｉｔｈ ｓｈｅｅｔ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ，ａｎｄ ｎｏ ａｄｄｉｔｉｏｎａ１ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ ｃｈａｎｎｅｌ ｉｓ ｎｅｅｄｅｄ．Ｔｈｅ ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ａｎｄ ｔｈｅ ｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎ ｂｅｔｗｅｅｎ ｔｈｅ ｓｈｅｅｔ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ ａｎｄ ｓｌｏｗ ｗａｖｅ ｉｎ ｔｈｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ａｒｅ ｏｂｔａｉｎｅｄ ｂｙ ｕｔｉｌｉｚｉｎｇ ｔｈｅ ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ｓｏｆｔｗａｒｅ ＨＦＳＳ ａｎｄ ｔｈｅ ｐａｒｔｉｃｌｅ—ｉｎ－ｃｅｌｌ ｃｏｄｅ ｉｎ ＣＳＴ Ｐａｒｔｉｃｌｅ Ｓｔｕｄｉｏ，ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ．Ｏｕｒ ｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎｓ ｉｎｄｉｃａｔｅ ｔｈａｔ，ａｔ ａ ｂｅａｍ ｖｏｌｔａｇｅ ｏｆ ７ ｋＶ ａｎｄ ａ ｂｅａｍ ｃｕｒｒｅｎｔ ｏｆ ９０ ｍＡ．ｔｈｅ ｔｒａｖｅｌｉｎｇ ｗａｖｅ ｔｕｂｅ ｂａｓｅｄ ｏｎ ｔｈｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｉｓ ｃａｐａｂｌｅ ｏｆ ｄｅｌｉｖｅｒｉｎｇ ｓｅｖｅｒａｌ ｔｅｎｓ ｏｆ ｗａｔｔｓ ｏｕｔｐｕｔ ｐｏｗｅｒ ｗｉｔｈ ａｎ ｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｏｆ １４．３ ｏｆ １８ ＧＨｚ（ｒａｎｇｉｎｇ ｆｒｏｍ １３２ ＧＨｚ ｔｏ １５０ ＧＨｚ） ａｎｄ ａ ｔｒａｎｓｉｅｎｔ ３ ｄＢ ｂａｎｄｗｉｄｔｈ Ｋｅｙ ｗｏｒｄｓ： ｒｈｏｍｂｕｓ—ｓｈａｐｅｄ ｍｉｃｒｏｓｔｒｉｐ ｍｅａｎｄｅｒ—ｌｉｎｅ； ｓｌｏｗ－ｗａｖｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ；ｔｒａｖｅｌｉｎｇ—ｗａｖｅ ｔｕｂｅ； ｍｉｃｒｏ—ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ