专利名称：一种薄膜太阳能电池用陷光玻璃的制备方法专利类型：发明专利
发明人：彭寿,姚婷婷,沈洪雪,李刚,杨勇,金克武,王天齐,汤永
康,甘治平,马立云
申请号：CN201810560496.6申请日：20180604公开号：CN108640532A公开日：20181012
摘要：本发明公开一种薄膜太阳能电池用陷光玻璃的制备方法，包括以下步骤：S1、将玻璃基底浸入食人鱼溶液，清洁玻璃基底；S2、将玻璃基底置于磁控溅射腔室内，采用Ar离子束轰击玻璃基底表面进一步清洁玻璃基底；S3、采用Al掺杂浓度为0.5～1.5 wt%的AZO靶作为靶材，以射频直流耦合溅射工艺，溅射生长第一AZO薄膜；S4、采用Al掺杂浓度为1.5～2.5 wt%的AZO靶作为靶材，以射频直流耦合溅射工艺溅射生长第二AZO薄膜；S5、采用Ag靶材，以射频直流耦合溅射工艺溅射生长Ag薄膜；S6、采用Al掺杂浓度为2.5～3.5 wt%的AZO靶作为靶材，以射频直流耦合溅射工艺溅射生长第三AZO薄膜；本方法能提高陷光玻璃的雾度及电学性能，获得透过率高且具有陷光功能的AZO透明导电玻璃。
申请人：中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司
地址：233010 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
国籍：CN
代理机构：安徽省蚌埠博源专利商标事务所
代理人：陈俊
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