(12)发明专利申请
(21)申请号 CN2013103719.0 (22)申请日 2013.08.14
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
地址 201203 上海市浦东新区高科技园区高斯路568号
(10)申请公布号 CN103400839A
(43)申请公布日 2013.11.20
(72)发明人 吴健;谭颖
(74)专利代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 陆花
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
()发明名称
高压ESD器件版图结构以及包含该版图结构的芯片
(57)摘要
本发明提供了一种高压ESD器件版图结构
以及包含该版图结构的芯片。该高压ESD器件版图结构包括:半导体衬底,其具有高压阱区;器件栅氧区,其限定该半导体衬底的有源区;漂移区,其形成在该器件有源区的外围;杂质区,其形成在漂移区的下方,但小于有源区宽度;源极,漏极配置在杂质区中;器件栅区,位于有源区的上方;场板区,位于漂移区的上方;其中,器件栅区及有源区宽度伸出杂质区。
法律状态
法律状态公告日
2013-11-20 2013-12-18 2016-03-02
公开
实质审查的生效 授权
法律状态信息
公开
法律状态
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
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说明书
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