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高压ESD器件版图结构以及包含该版图结构的芯片

来源:飒榕旅游知识分享网
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(21)申请号 CN2013103719.0 (22)申请日 2013.08.14

(71)申请人 上海华力微电子有限公司

地址 201203 上海市浦东新区高科技园区高斯路568号

(10)申请公布号 CN103400839A

(43)申请公布日 2013.11.20

(72)发明人 吴健;谭颖

(74)专利代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人 陆花

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

()发明名称

高压ESD器件版图结构以及包含该版图结构的芯片

(57)摘要

本发明提供了一种高压ESD器件版图结构

以及包含该版图结构的芯片。该高压ESD器件版图结构包括:半导体衬底,其具有高压阱区;器件栅氧区,其限定该半导体衬底的有源区;漂移区,其形成在该器件有源区的外围;杂质区,其形成在漂移区的下方,但小于有源区宽度;源极,漏极配置在杂质区中;器件栅区,位于有源区的上方;场板区,位于漂移区的上方;其中,器件栅区及有源区宽度伸出杂质区。

法律状态

法律状态公告日

2013-11-20 2013-12-18 2016-03-02

公开

实质审查的生效 授权

法律状态信息

公开

法律状态

实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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