（12）发明专利申请
（21）申请号 CN200780044261.1 （22）申请日 2007.09.14 （71）申请人 朗姆研究公司
地址 美国加利福尼亚州
（10）申请公布号 CN101548360A
（43）申请公布日 2009.09.30
（72）发明人 黄忠河;杰基濑户;尼古拉斯·布莱特 （74）专利代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 余刚
（51）Int.CI
H01L21/00;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
自动动态基线制定和调整
（57）摘要
在等离子体处理系统中，提供一种用于动
态地制定基线的方法。该方法包括处理第一基板。该方法还包括收集该第一基板的第一信号数据。该方法进一步包括比较该第一信号数据与该基线。该方法还包括如果该第一信号数据在置信水平范围内，则在重新计算该基线时包括该第一信号数据，该置信水平范围在该基线以上的最高水平和该基线以下的最低水平之间。
法律状态
法律状态公告日
2009-09-30 2009-12-02 2012-05-30
公开
实质审查的生效 授权
法律状态信息
公开
法律状态
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
自动动态基线制定和调整的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
自动动态基线制定和调整的说明书内容是....请下载后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容