一种加速度计系统,加速度计探头及其制备方法[发明专利]

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专利名称：一种加速度计系统,加速度计探头及其制备方法专利类型：发明专利

发明人：汤亮,张忠山,季磊,支萌辉,齐敏,孙泉,乔东海,张倩申请号：CN201610675221.8申请日：20160816公开号：CN106324282A公开日：20170111

摘要：本发明涉及一种加速度计系统，加速度计探头及其制备方法，该加速度计系统包括加速度计探头、射频振荡电路和频谱仪。加速度计探头包括应力集中结构、薄膜体声波谐振器、支撑固定结构和薄膜体声波谐振器的电极焊盘；应力集中结构通过支撑固定结构固定在加速度计探头上；薄膜体声波谐振器通过薄膜体声波谐振器的电极焊盘与射频振荡电路的选频网络端相连。本发明采用具有大质量块的桥式应力集中结构，具有应力放大效果，可以提高系统测量加速度的灵敏度；加速度的大小通过频谱仪测量由薄膜体声波谐振器作为选频网络部件的射频振荡电路输出射频振荡信号频率的变化得出，避免了电容式微机电系统加速度计寄生电容干扰和结构复杂的缺点。

申请人：中国科学院声学研究所

地址：100190 北京市海淀区北四环西路21号

国籍：CN

代理机构：北京亿腾知识产权代理事务所

代理人：陈霁

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