专利名称：洗涤方法及洗涤装置专利类型：发明专利发明人：速水直哉,藤田博申请号：CN200610073365.2申请日：20060331公开号：CN1840248A公开日：20061004
摘要：本发明揭示一种洗涤方法及洗涤装置，洗涤装置具备：提供碱性的洗涤用液体的洗涤用水供给部(50)、提供高压空气的高压空气供给部(40)、以及使所提供的洗涤用水与高压空气混合以使其形成雾状，向半导体晶片(W)喷射的双流体喷嘴(30)。
申请人：株式会社东芝
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
代理人：沈昭坤
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