用于经由化学气相沉积处理的材料生产的筒形反应器[发明专利]

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专利名称：用于经由化学气相沉积处理的材料生产的筒形反应

器

专利类型：发明专利发明人：卡甘·塞兰

申请号：CN201280042405.0申请日：20120701公开号：CN1039988A公开日：20140820

摘要：本发明通过使沉积反应发生在密封的坩埚内部而不是水冷反应器的整个空腔内部而克服了西门子反应器的。坩埚本身位于筒形反应器内部，其在坩埚和反应器壁之间可具有热屏蔽件，以显著减少辐射能损耗。此外，坩埚中沉积表面积与空腔容积的比率比西门子反应器中柱沉积表面积与整个空腔容积的比率要高得多，这导致气体分子与沉积表面更高的接触百分比。这又导致气体中材料至沉积表面上材料的更高的实际转化率。

申请人：太阳能技术绿色团体有限公司

地址：维尔京群岛托托拉岛

国籍：VG

代理机构：北京市金杜律师事务所

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