专利名称：沉积装置专利类型：发明专利发明人：李占斌
申请号：CN201210214960.9申请日：20120626公开号：CN102719806A公开日：20121010
摘要：本发明提供了一种沉积装置，包括气体反应腔、尾气排出管和排堵进气管，其中，所述尾气排出管与所述气体反应腔连接，所述排堵进气管位于所述尾气排出管的侧壁，且与所述尾气排出管贯通。本发明沉积装置中的尾气排出管不易发生堵塞，提高了沉积装置的正常工作时间，且由于无需持续对尾气排出管进行保温，能够节省资源，降低成本。
申请人：上海宏力半导体制造有限公司
地址：201203 上海市浦东新区浦东张江高科技园区祖冲之路1399号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：骆苏华
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