薄膜太阳能电池的制造装置和方法以及薄膜太阳能电池[发明专利]

来源：飒榕旅游知识分享网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：薄膜太阳能电池的制造装置和方法以及薄膜太阳能

电池

专利类型：发明专利

发明人：菊池正志,增田淳,近藤道雄申请号：CN200980128616.4申请日：20090724公开号：CN102105990A公开日：20110622

摘要：一种用于制造增加膜特性均匀性的薄膜太阳能电池的装置。在输送衬底（S）从一个卷筒（R1）到另一个卷筒（R2）的过程中，在所述卷筒对（R1，R2）之间沿输送方向（D）区隔开的多个膜形成隔室（23A）中形成多个半导体层的层叠体的电能生成层（12）。在每个膜形成隔室（23A）中，在所述输送方向上，朝向所述衬底（S）布置多个扁平应用电极（32）。每个扁平应用电极（32）包括提供有VHF频带内的高频电源的电源端子（36）。当所述高频电源的波长由λ表示时，将所述扁平应用电极（32）的边缘与电源端子（36）之间在正交于所述输送方向的方向上的距离设置为比λ/4短。

申请人：株式会社爱发科,行人产业技术综合研究所

地址：日本国神奈川县

国籍：JP

代理机构：上海嘉和知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：杨嘉和

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