专利名称：微型真空计专利类型：实用新型专利
发明人：魏德波,候影,刘瑞文,傅剑宇,吕文龙,王玮冰,陈大鹏申请号：CN201820515143.X申请日：20180412公开号：CN208206381U公开日：20181207
摘要：本实用新型公开了一种微型真空计，包括底座、框架、绝缘基底、二极管、电阻、悬臂梁和电学连线，框架固定在底座四周，悬臂梁至少为两个，悬臂梁的一端与绝缘基底固定连接，悬臂梁的另一端固定于框架的上侧面上，至少两个悬臂梁将绝缘基底悬空固定于框架上；二极管和电阻设于绝缘基底上，电学连线将电阻和二极管电性连接并从悬臂梁上引出。本实用新型通过配置二极管数量、二极管的串并联方式、串联电阻大小、绝缘基底与底座之间的间隙实现对不同真空度的精确检测，具有配置灵活、灵敏度高、量程大的优点。此外，该真空计还具有结构及制作方法简单、与CMOS工艺兼容、加工误差容限大、成本低等优点。
申请人：昆山光微电子有限公司,中国科学院微电子研究所
地址：215300 江苏省苏州市昆山市周庄镇园区大道南侧
国籍：CN
代理机构：昆山中际国创知识产权代理有限公司
代理人：张文婷
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