一种涂布检测修复装置及其方法[发明专利]

来源：飒榕旅游知识分享网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种涂布检测修复装置及其方法专利类型：发明专利发明人：刘哲

申请号：CN201710595274.3申请日：20170719公开号：CN107367516A公开日：20171121

摘要：一种涂布检测修复装置以及其对应的方法，检测单元与修复单元都集成于涂布机上，作为一个涂布‑检测‑修复的整体机台使用。当涂布机完成涂布工作后，检测单元采用微区透光率的手段对安放于涂布机上的承载基板和柔性基板进行检测，辨别并定位柔性基板中的气泡或粒子异物的存在；修复单元采用微波对检测定位的气泡进行局部加热，使气泡膨胀并移动至柔性基板表面溢出，并对需要后续修复或规避的缺陷进行标记定位，利用本装置的制造方法可以提高柔性显示屏制备的良品率，降低制造风险。

申请人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司

地址：430070 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室

国籍：CN

代理机构：广州三环专利商标代理有限公司

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