专利名称:面发射激光器及其制造方法专利类型:发明专利发明人:熊野哲弥
申请号:CN202010730086.9申请日:20200727公开号:CN112310799A公开日:20210202
摘要:本发明提供面发射激光器及其制造方法,能够抑制因热导致的劣化。面发射激光器具备:基板、设于上述基板上的下部反射镜层、设于上述下部反射镜层上的有源层及设于上述有源层上的上部反射镜层,上述下部反射镜层、上述有源层及上述上部反射镜层形成台面,上述台面具有电流狭窄构造,上述电流狭窄构造具有电流狭窄层,上述电流狭窄层具有从上述台面的周缘部延伸的氧化层及由上述氧化层包围且与上述有源层重叠的开孔,上述开孔具有长轴和短轴,上述长轴的长度为上述短轴的长度的2倍以上。
申请人:住友电气工业株式会社
地址:日本大阪府大阪市
国籍:JP
代理机构:中原信达知识产权代理有限责任公司
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